Modifizierung von dünnen Schichten spezifischer Materialien

Chemische Veränderungen von Materialien durch Bestrahlung mit hochenergetischen Elektronen werden bereits in verschiedenen technischen Prozessen (z.B. Lithographie, Behandlung von polymeren Werkstoffen) ausgenutzt. Wir untersuchen, wie die höhere Selektivität von langsamen Elektronen ausgenutzt werden kann, um insbesondere sehr dünne Schichten von unterschiedlichen Materialien gezielter als bisher zu bearbeiten. Auch hierzu werden Bestrahlungsexperimente bei unterschiedlichen Elektronenenergien durchgeführt.

Aktuell untersuchte Materialsysteme sind:

• Siloxane und Polysiloxane für funktionelle Oberflächenbeschichtungen. Die Vernetzung durch Elektronenbestrahlung und durch Plasmabehandlung wird verglichen.

• Polysaccharide als „grüne“ Materialien für dünne Beschichtungen, deren Eigenschaften, wie z.B. die Benetzbarkeit sich durch Bestrahlung mit niederenergetischen Elektronen verändern lassen.

• Metallorganische Prekursoren für elektronenstrahl-induzierte Abscheidung (EBID). Ein besseres Verständnis der Reaktionsmechanismen soll zu einer Verbesserung der technischen EBID-Prozesse beitragen.

Weitere Informationen:

Low-energy electron-induced chemistry of condensed-phase hexamethyldisiloxane: Initiating dissociative process and subsequent reactions;
I. Ipolyi, E.Burean, T.Hamann, M.Cingel, S.Matejcik, P. Swiderek,
Int.J.Mass Spectrom. 282, 133 (2009).

Electron-induced reactions of MeCpPtMe3 investigated by HREELS;
M.N.Hedhili, J.H.Bredehöft, P.Swiderek;
J. Phys. Chem. C, 113, 13282 (2009).

<< voriger Schwerpunkt | Überblick